中國(guó)教育報(bào)-中國(guó)教育新聞網(wǎng)訊（記者 陳欣然 通訊員 梁紹楠）微型LED被廣泛認(rèn)為是下一代高端顯示技術(shù)的核心元件，而如何實(shí)現(xiàn)微型LED晶圓從生產(chǎn)到終端集成的全過(guò)程良率檢測(cè)，一直是困擾業(yè)界的難題，也阻礙了基于微型LED的終端產(chǎn)品如大面積顯示屏、柔性顯示屏的量產(chǎn)。近日，天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、精儀學(xué)院感知科學(xué)與工程系黃顯團(tuán)隊(duì)打破微型LED晶圓測(cè)試瓶頸，實(shí)現(xiàn)微型LED晶圓高通量無(wú)損測(cè)試，研究成果日前在電氣領(lǐng)域頂級(jí)期刊《自然—電子學(xué)》（Nature Electronics）刊發(fā)。

研究團(tuán)隊(duì)首次提出了一種基于柔性電子技術(shù)的巨量LED晶圓的無(wú)損接觸式電致發(fā)光檢測(cè)方法，該方法構(gòu)建了包含彈性微柱陣列和可延展柔性電極陣列堆疊的三維結(jié)構(gòu)柔性探針陣列。該研究在柔性電子與半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域取得了關(guān)鍵突破，打破了微型LED大規(guī)模電致發(fā)光檢測(cè)的技術(shù)瓶頸，首創(chuàng)微型LED晶圓高通量、無(wú)損檢測(cè)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了微型LED電致發(fā)光檢測(cè)技術(shù)從零到一的突破，為其他復(fù)雜晶圓如CPU、FPGA檢測(cè)提供了革命性技術(shù)方案。

該技術(shù)已在天開(kāi)園核心區(qū)成立的萬(wàn)柔科技和孚萊感知半導(dǎo)體公司開(kāi)啟產(chǎn)品化進(jìn)程，未來(lái)將為國(guó)內(nèi)微型LED產(chǎn)業(yè)提供批量化、無(wú)損、低成本的檢測(cè)解決方案，推動(dòng)我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性先進(jìn)檢測(cè)裝備達(dá)到世界領(lǐng)先水平，進(jìn)一步拓展了柔性電子技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。該項(xiàng)技術(shù)也為面向AR/VR等應(yīng)用場(chǎng)景的高良率面板制程奠定了基礎(chǔ)，隨著探針陣列規(guī)模與檢測(cè)通道的持續(xù)拓展，未來(lái)或?qū)⒃诰A級(jí)集成檢測(cè)、生物光子學(xué)等領(lǐng)域產(chǎn)生更廣泛影響。